填空題

終點(diǎn)檢測是指（）的一種檢測到平坦化工藝把材料磨到一個(gè)正確厚度的能力。兩種最常用的原位終點(diǎn)檢測技術(shù)是（）和（）。

答案： CMP設(shè)備；電機(jī)電流終點(diǎn)檢測；光學(xué)終點(diǎn)檢測
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