填空題

光刻包括兩種基本的工藝類型：負(fù)性光刻和（），兩者的主要區(qū)別是所用光刻膠的種類不同，前者是（），后者是（）。

答案： 正性光刻；負(fù)性光刻膠；正性光刻膠
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