填空題

光刻包括兩種基本的工藝類型:負(fù)性光刻和(),兩者的主要區(qū)別是所用光刻膠的種類不同,前者是(),后者是()。

答案: 正性光刻;負(fù)性光刻膠;正性光刻膠
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