判斷題

有光刻膠覆蓋硅片的三個(gè)生產(chǎn)區(qū)域分別為光刻區(qū)、刻蝕區(qū)和擴(kuò)散區(qū)。

答案：正確

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光刻的本質(zhì)是把電路結(jié)構(gòu)復(fù)制到以后要進(jìn)行刻蝕和離子注入的硅片上。

答案：正確

芯片上的物理尺寸特征被稱為關(guān)鍵尺寸，即CD。

答案：正確

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