問答題

【簡答題】簡述懸浮區(qū)熔法檢驗(yàn)硅多晶中硼、磷含量的原理.

答案:利用硅熔體中雜質(zhì)的分凝效應(yīng)和蒸發(fā)效應(yīng),在真空條件下,在硅棒上建立一個熔區(qū),熔區(qū)溫度為1410℃,并使之從一端移至另一端,...
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