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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入機(jī)的各部分工作原理？
答案：
離子注入機(jī)主要由離子源、分析磁體、加速聚焦器、掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、靶室及終端臺(tái)和真空系統(tǒng)6大部分組成。
1）離子源的...
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述離子注入原理
答案：
離子注入是將被摻雜的雜質(zhì)原子或分子進(jìn)行離子化，經(jīng)磁場(chǎng)選擇和電場(chǎng)加速到一定的能量，形成一定電流密度的離子束流后被直接打進(jìn)（...
