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問答題
【簡答題】工藝最后生長在頂層的介質(zhì)層稱為什么？有什么材料構(gòu)成？其主要作用是什么？
答案：
氮化硅，稱為鈍化層，其目的是保護產(chǎn)品免受潮氣，劃傷及淀積的影響。
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問答題
【簡答題】金屬層間介質(zhì)的作用是什么？通常用什么材料作層間介質(zhì)層？
答案：
作用：支撐材料和金屬間的絕緣層（以及局部互連介質(zhì)層）
通常用氧化硅作為層間介質(zhì)層。
