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【簡(jiǎn)答題】根據(jù)空位機(jī)制下的總擴(kuò)散系數(shù)公式,給出本征硅,低濃度摻雜,N型重?fù)诫s及P型重?fù)诫s下的擴(kuò)散系數(shù)公式。
答案:
本征硅的擴(kuò)散系數(shù):硅中空位主要是中性空位;
低摻雜(本征)下的擴(kuò)散系數(shù):雜質(zhì)濃度與本征載流子濃度幾乎相等(n=...
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【簡(jiǎn)答題】列出并解釋替位雜質(zhì)在硅中的三種主要擴(kuò)散機(jī)制。
答案:
直接交換,空位交換,間隙擴(kuò)散:替位雜質(zhì)在硅中擴(kuò)散的第三個(gè)重要機(jī)制取決于硅自填隙原子的存在。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】試說(shuō)明擴(kuò)散工藝中常用的擴(kuò)散摻雜方法,并說(shuō)明當(dāng)前實(shí)際工藝中使用的主要方法及理由。
答案:
固態(tài)源擴(kuò)散、液態(tài)源擴(kuò)散和氣態(tài)源擴(kuò)散。
硼和磷在室溫,低蒸汽壓下是固態(tài)的,很難熔化或蒸發(fā),且用固態(tài)雜質(zhì)源也很難控...
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