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【案例分析題】有一臺(tái)變間隙非接觸式電容測(cè)微儀,其傳感器的極板半徑r=5mm,假設(shè)與被測(cè)工件的初始間隙d0=0.5mm。已知試真空的介電常數(shù)等于8.854×10
-12
F/m,求:如果測(cè)量電路的靈敏度Ku=100mV/pF,則在間隙增大△d=1μm時(shí)的輸出電壓為多少?
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【【案例分析題】】有一臺(tái)變間隙非接觸式電容測(cè)微儀,其傳感器的極板半徑r=5mm,假設(shè)與被測(cè)工件的初始間隙d0=0.5mm。已知試真空的介電常數(shù)等于8.854×10
-12
F/m,求:如果測(cè)量電路的靈敏度Ku=100mV/pF,則在間隙增大△d=1μm時(shí)的輸出電壓為多少?
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