主要用于顯微結(jié)構(gòu)分析、晶粒形貌、晶體缺陷、納米顆粒大小、界面結(jié)構(gòu)、高分辨晶格像、微區(qū)成分分析等。
電子顯微分析技術(shù)是采用透射式和掃描式電子顯微鏡進(jìn)行表面分析的一種顯微分析技術(shù)。