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名詞解釋

外延片

答案：

生長了外延層的襯底硅片。

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外延層

答案：

襯底上新生長的單晶層。

外延

答案：

在單晶襯底上按襯底晶向生長一層新的單晶薄膜的工藝技術(shù)。

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