問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】依對(duì)良率的影響Defect可分為？

答案： ① Killer defect =>對(duì)良率有影響 
② No...
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②&ens...
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答案： ① 素材本身：包括wafer，氣體，純水，化學(xué)藥品。
② 外在環(huán)境：包含潔凈室，傳送系統(tǒng)與...
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