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問答題
【簡(jiǎn)答題】什么是恒定表面源擴(kuò)散？其擴(kuò)散形成的結(jié)深主要受哪些因素的影響？其中哪一個(gè)影響最主要？為什么？
答案：
如果在整個(gè)擴(kuò)散過程中，硅片表面的雜質(zhì)濃度始終不變，這種類型的擴(kuò)散稱為恒定表面源擴(kuò)散。結(jié)深只與擴(kuò)散時(shí)間t和擴(kuò)散系數(shù)D有關(guān)，...
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問答題
【簡(jiǎn)答題】解釋擴(kuò)散系數(shù)及其物理含義，并說明影響擴(kuò)散系數(shù)的主要因素是什么，及如何影響？
答案：
雜質(zhì)的擴(kuò)散流密度與雜質(zhì)的濃度梯度成正比，將二者之間的比例系數(shù)定義為雜質(zhì)在基體材料中的擴(kuò)散系數(shù)，其單位為cm2<...
問答題
【簡(jiǎn)答題】說明雜質(zhì)在晶圓中的擴(kuò)散機(jī)制及主要特點(diǎn)，并各舉一例。
答案：
間隙式雜質(zhì)從一個(gè)間隙到另一個(gè)間隙的運(yùn)動(dòng)是通過原子間的縫隙進(jìn)行的，這種依靠間隙方式而逐步跳躍前進(jìn)的擴(kuò)散稱為間隙式擴(kuò)散（In...
