只能在超真空中進(jìn)行且量產(chǎn)較低、在GaAs基片上生長無限多外延層、可以控制參雜的深度和精度到納米級
它是一種冷壁工藝,只要將襯底控制到一定溫度就行了
最簡單最廉價但其外延層的質(zhì)量不高