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問答題
【簡(jiǎn)答題】什么是干法刻蝕？干法有幾種刻蝕方法？
答案：
用等離子體對(duì)薄膜線條進(jìn)行刻蝕的一種新技術(shù)。
分為等離子體刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕RIE、磁增強(qiáng)反應(yīng)離子刻蝕、高密度等...
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問答題
【簡(jiǎn)答題】什么是刻蝕？
答案：
刻蝕即光刻腐蝕，就是通過(guò)光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理，然后通過(guò)其他方式實(shí)現(xiàn)腐蝕以處理掉所需除去的部分。
問答題
【簡(jiǎn)答題】濕法刻蝕有什么缺點(diǎn)？
答案：
抗蝕劑中的小窗口會(huì)由于毛細(xì)作用而使得接觸孔不能被有效浸潤(rùn)、被分解的材料不能被有效從反應(yīng)區(qū)中清除。
