問答題

【簡答題】離子注入機的主要部件以及它們的主要任務分別是什么?

答案: (1)離子源,離子源的任務是提供所需的雜質(zhì)離子;
(2)質(zhì)量分析器,對從離子源出來的離子進行篩選;
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【簡答題】常用的CVD哪幾種?說明各自的優(yōu)缺點以及應用領域。

答案: (1)常壓化學氣相淀積,這種工藝所需的系統(tǒng)簡單,反應速度快,并特別適于介質(zhì)淀積,但是它的缺點是均勻性較差,氣體消耗量大,...
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