問答題

【簡答題】離子注入機的主要部件以及它們的主要任務分別是什么？

答案： （1）離子源，離子源的任務是提供所需的雜質(zhì)離子；
（2）質(zhì)量分析器，對從離子源出來的離子進行篩選；
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問答題

【簡答題】濕法刻蝕和干法刻蝕的區(qū)別？
答案： 濕法刻蝕設備簡單、工藝操作方便，一般的常規(guī)生產(chǎn)均能滿足要求，但各向同性刻蝕性太強，難以控制線寬，而且刻蝕劑大多為腐蝕性較...
問答題

【簡答題】常用的CVD哪幾種？說明各自的優(yōu)缺點以及應用領域。
答案： （1）常壓化學氣相淀積，這種工藝所需的系統(tǒng)簡單，反應速度快，并特別適于介質(zhì)淀積，但是它的缺點是均勻性較差，氣體消耗量大，...
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