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腐蝕作業(yè)過程中必須戴橡膠手套,同時戴好防護眼鏡、圍裙、膠鞋等勞保用品。
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腐蝕倒片前作業(yè)員必須確認頻率標簽的燒杯編號與所取燒杯一致,不可隨意取燒杯內(nèi)的晶片進行腐蝕。
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68度腐蝕參考腐蝕速率0.013μm/s;不飽和50度參考腐蝕速率0.003μm/s,腐蝕速率有波動,設定的腐蝕時間可適當大于計算出的腐蝕時間。
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