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【簡答題】選擇監(jiān)測站點的考慮為何?
答案:
① 以Zone partition的觀念,兩個監(jiān)測站點不可相隔太多工藝的步驟。
② 由yield loss an...
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【簡答題】如何決定那些產(chǎn)品需要scan?
答案:
① 現(xiàn)階段最具代表性的工藝技術(shù)。
② 有持續(xù)大量訂單的產(chǎn)品。
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【簡答題】何謂Sampling plan?
答案:
即為采樣頻率,包含:
① 那些站點要Scan
② 每隔多少Lot要掃1個Lot<...
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