問答題

【簡答題】描述CVD反應(yīng)中的8個步驟。

答案：

1）質(zhì)量傳輸
2）薄膜先驅(qū)物反應(yīng)
3）氣體分子擴散
4）先驅(qū)物吸附
5）先驅(qū)物擴散進襯底
6）表面反應(yīng)
7）副產(chǎn)物解吸
8）副產(chǎn)物去除
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