問答題

【簡答題】何謂硅化物( salicide)?

答案: Si與Ti或Co形成TiSix或CoSix, 一般來說是用來降低接觸電阻值(Rs, Rc)。
題目列表

你可能感興趣的試題

問答題

【簡答題】簡單說明SAB工藝的流層中要注意哪些?

答案: ①SAB 光刻后(photo),刻蝕后(etch)的圖案(特別是小塊區(qū)域)。要確定有完整的包覆(block)住...
問答題

【簡答題】SAB是什么的縮寫? 目的為何?

答案: SAB:Salicide block, 用于保護硅片表面,在RPO (Resist Protect Oxide) 的保...
微信掃碼免費搜題