問答題

【簡答題】簡述光刻膠的分類，談?wù)務(wù)z和負(fù)膠的區(qū)別。

答案：

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③軟烘培：加熱，部分蒸發(fā)...
問答題

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答案：

①圖形轉(zhuǎn)移到光刻膠層
②圖形從光刻膠層轉(zhuǎn)移到晶圓層
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