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【簡(jiǎn)答題】試述晶體外延的意義,列出三種外延方法。
答案:
晶體外延的意義是:用同質(zhì)材料形成具有不同摻雜種類及濃度,因而具有不同性質(zhì)的晶體層。
晶體外延的方法主要有:氣相...
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【簡(jiǎn)答題】什么叫硅的熱氧化?有哪幾種熱氧化技術(shù)?
答案:
硅的熱氧化法是指硅與氧或水汽,在高溫下經(jīng)化學(xué)反應(yīng)生成SiO
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。根據(jù)氧化劑的不同,熱氧化可分為干氧氧...
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【簡(jiǎn)答題】集成電路主要有哪些基本制造工藝?
答案:
集成電路基本制造工藝包括:外延生長(zhǎng),掩模制造,光刻,刻蝕,摻雜,絕緣層形成,金屬層形成等。
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