A.加工參數(shù) B.加工環(huán)境 C.加工溫度 D.加工時間 E.加工質(zhì)量
A.超精密加工機理與工藝方法 B.超精密加工機床設(shè)備 C.超精密加工工具 D.測量補償 E.誤差補償
A.0.01-10 B.0.1-100 C.1-1000 D.10-10000