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名詞解釋
光刻技術(shù)
答案：
圖形化工藝中將設(shè)計(jì)好的圖形從光刻板或背縮光刻板轉(zhuǎn)印到晶圓表面的的光刻膠上使用的技術(shù)。
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答案：
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