多項選擇題

光刻工藝的特點包括（）。

A.決定特征尺寸的關(guān)鍵工藝
B.光刻與芯片的價格和性能密切相關(guān)
C.光刻工藝過程復(fù)雜
D.復(fù)印圖像和化學(xué)作用相結(jié)合的綜合性技術(shù)

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