探針、探針陣列或探頭工具
掩蔽雜質、作為柵氧化層、表面鈍化和保護、介質隔離、絕緣介質等作用
作用是激活注入的離子，恢復遷移率及其他材料參數(shù)。
系統(tǒng)知識，電路知識，工具知識，工藝知識
