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（1）擦洗表面的大塊污物；（2）浸泡；（3）化學腐蝕；（4）水清洗；（5）干燥。
①金屬-絕緣體-金屬（MIM）結構； ②多晶硅/金屬-絕緣體-多晶硅結構； ③金屬叉指結構； ④PN結電容； ⑤MOS電容。
