填空題

根據(jù)氧化劑的不同，熱氧化可分為（）、（）和（）。

答案： 干氧氧化；濕氧氧化；水汽氧化
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熱氧化工藝的基本設(shè)備有三種（）、（）和（）。
答案： 臥式爐；立式爐；快速熱處理爐
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制備半導(dǎo)體級(jí)硅的過程：1、（）；2、（）；3、（）。
答案： 制備工業(yè)硅；生長(zhǎng)硅單晶；提純
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