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問答題
【簡(jiǎn)答題】說明氧化氣氛對(duì)擴(kuò)散有何影響及原因？
答案：
與中性氣氛相比，在熱氧化氣氛中進(jìn)行的擴(kuò)散，雜質(zhì)的擴(kuò)散系數(shù)和濃度分布均發(fā)生變化。由于氧化導(dǎo)致自間隙硅原子的產(chǎn)生，故對(duì)于硼，...
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問答題
【簡(jiǎn)答題】根據(jù)空位機(jī)制下的總擴(kuò)散系數(shù)公式，給出本征硅，低濃度摻雜，N型重?fù)诫s及P型重?fù)诫s下的擴(kuò)散系數(shù)公式。
答案：
本征硅的擴(kuò)散系數(shù)：硅中空位主要是中性空位；
低摻雜（本征）下的擴(kuò)散系數(shù)：雜質(zhì)濃度與本征載流子濃度幾乎相等（n=...
低摻雜（本征）下的擴(kuò)散系數(shù)：雜質(zhì)濃度與本征載流子濃度幾乎相等（n=...
問答題
【簡(jiǎn)答題】列出并解釋替位雜質(zhì)在硅中的三種主要擴(kuò)散機(jī)制。
答案：
直接交換，空位交換，間隙擴(kuò)散：替位雜質(zhì)在硅中擴(kuò)散的第三個(gè)重要機(jī)制取決于硅自填隙原子的存在。
