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問答題
【簡答題】什么是擴散的相互作用？試舉一例說明其對半導體器件的制造有何影響及其產(chǎn)生的原因。
答案：
當兩種不同的雜質(zhì)先后擴入同一晶體內(nèi)，當?shù)诙N雜質(zhì)擴散時，第一種雜質(zhì)仍在繼續(xù)擴散；第一種雜質(zhì)的后續(xù)擴散、最終的分布和結(jié)深的...
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問答題
【簡答題】說明氧化氣氛對擴散有何影響及原因？
答案：
與中性氣氛相比，在熱氧化氣氛中進行的擴散，雜質(zhì)的擴散系數(shù)和濃度分布均發(fā)生變化。由于氧化導致自間隙硅原子的產(chǎn)生，故對于硼，...
問答題
【簡答題】根據(jù)空位機制下的總擴散系數(shù)公式，給出本征硅，低濃度摻雜，N型重摻雜及P型重摻雜下的擴散系數(shù)公式。
答案：
本征硅的擴散系數(shù)：硅中空位主要是中性空位；
低摻雜（本征）下的擴散系數(shù)：雜質(zhì)濃度與本征載流子濃度幾乎相等（n=...
低摻雜（本征）下的擴散系數(shù)：雜質(zhì)濃度與本征載流子濃度幾乎相等（n=...
